低能电子衍射分析法，低能电子衍射是研究固体表面微区结构的重要手段之一。低能ID电子衍射仪是在电子的后加速技术的成熟和超真空技术的普及才得以实现的。低能电子衍射后，在加速称为后加速，它只增加电子的能量，而不能改变电子衍射谱。为防止气体污染试样表面及吸收低能电子，仪器内的真空度要求较高，还配有离子溅射源，以便清除玷污的表面层。

应用低能电子衍射查清一些矿物表面最外部原子层的结构，后来又发现过去完全不清楚的吸附分子的二维规律性，及超点阵结构等。目前，根据衍射强度，结合俄歇电子能谱的数据，可以鉴定表面状态。因此，磁能电子衍射是研究表面结构的一种非常有力的方法。

低能电子衍射的优势：可作表面二维结构分析；能确定晶体表面原子或吸附原子与分子的二维对称性和单位晶胞的大小；表面超点阵结构分析；能检测出贵金属；催化剂表面吸附气体原子分布的研究。其缺点：衍射斑点的排列与真正的原子排列不是一比一的关系；对于不完整的表面难于进行分析；电子照射会干扰吸附状态的原始情况等。

场离子显微镜是研究某些材料表面特性较好的仪器。它的特点是：分辨率高，能直接观察到试样表面原子的排列情况；灵敏度高，一个原子大小的杂志的存在或缺陷亦能检测；在深度方向上能对一个原子层的深度进行组成分析；仪器构造简单。

场离子显微镜是一种正在发展中的分析仪器，最近已有商品化仪器，但在实际上应用得缓慢的原因主要是被研究对象的试样必须是针状，而且一般应是一些高熔点的金属或合金，试样尖端的曲率半径必须是在100埃左右，因而只能局限于金属材料，而在矿物学方面的实际应用尚属困难。

原子探针场离子显微镜首先用场离子显微镜观察电场蒸发的原子象，然后用飞机时间型质谱仪测定这些原子的质量，由于可以调整试样表面电场蒸发一个原子层厚度的速度，这就可能对微区深度方向上包含一个原子层的元素进行分析。这种方法，除具有场离子显微镜的特点外，还能进行微区表面单原子层或吸附原子的元素分析，而且能分析全部原子序数的元素。

矿物的热分析是根据矿物在加热过程中所发生的热效应或重量的变化等特征来研究和鉴定矿物的一种方法，目前应用较广的有以下几种：

分别是差热分析法、热重分析法、热重率分析法、热膨胀分析法、热膨胀法。

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